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中频磁控溅射镀膜电源是用于驱动磁控溅射镀膜设备的电源系统。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术，用于在材料表面上沉积薄膜。这种技术涉及将材料目标置于真空室中，然后使用离子化的气体离子轰击目标表面，使得材料从目标表面蒸发并沉积到基底表面上。
产物详情
中频磁控溅射镀膜电源是用于驱动磁控溅射镀膜设备的电源系统。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术，用于在材料表面上沉积薄膜。这种技术涉及将材料目标置于真空室中，然后使用离子化的气体离子轰击目标表面，使得材料从目标表面蒸发并沉积到基底表面上。
中频磁控溅射镀膜电源的设计通常包括以下几个方面：
1. 中频发生器：产生用于激发磁控溅射过程的中频电源信号。
2. 电源调节器：用于调节并稳定中频电源信号，以确保其符合磁控溅射设备的要求。
3. 控制系统：用于监测和调节磁场、电子束流和其他参数，以确保薄膜沉积的均匀性和质量。
中频磁控溅射镀膜电源对于磁控溅射过程的稳定性和薄膜质量至关重要。它们需要提供稳定的中频电源信号，并确保对磁场和其他参数的精确控制，以实现所需的薄膜沉积特性。
控制方式: | 电源面板按键控制 | |
模拟信号控制：罢罢尝电平，可以控制工作停止，输出电压或输出电流或输出功率，外部开路保护（一般用于水流保护） | ||
数字接口控制：485通讯。也可以定制232接口 | ||
物联网奥滨贵滨连接，远程网络监控 | ||
显示方式: | 中英文液晶显示 | |
显示内容： | 工作状态，输出电压，输出电流，设定值 | |
输出保护 | 输出过压，输出过流，输出失调 | |
输入保护 | 输入过压，输入欠压，输入过流，缺相 | |
安全保护 | 接地保护，漏电保护，外控保护,防雷保护，过热 | |
绝缘等级 | B级 | |
防护等级 | IP20 | |
保护响应时间 | 1uS | |
输入 | 对外壳电阻 | ≥20惭Ω |
输出 | ||
输入对外壳耐压 | 2000V/1min | |
输入对输出耐压 | 3500V/1min | |
使用环境 | 温度： | 0～35℃ |
湿度： | ≤80% | |
冷却方式： | 水冷 | |
外形尺寸： 安装尺寸 | 480*263*550（尘尘&苍产蝉辫;） 460*70（mm）机柜式安装 6U600MM | |
特点&苍产蝉辫;: | 体积小，重量轻，结构简单，操作简单，稳定可靠 | |
电路采用模块化设计，调试维修方便。 | ||
能够镀绝缘膜层，不产生电弧，负载适应范围宽 | ||
备注： | 出厂默认为模拟接口 | |
故障提示 | 智能故障检测分析,上限点故障报警，有参数设置出错,人为操作出错,电源内部因素的多级号报错序列。 | |
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