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溅射镀膜电源是用于磁控溅射镀膜设备的电源系统。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术，用于在材料表面上沉积薄膜。这种技术涉及将材料目标置于真空室中，然后使用离子化的气体离子轰击目标表面，使得材料从目标表面蒸发并沉积到基底表面上。
产物详情
溅射镀膜电源是用于磁控溅射镀膜设备的电源系统。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术，用于在材料表面上沉积薄膜。这种技术涉及将材料目标置于真空室中，然后使用离子化的气体离子轰击目标表面，使得材料从目标表面蒸发并沉积到基底表面上。
溅射镀膜电源的设计通常包括以下几个方面：
1. 直流或脉冲直流电源：产生用于激发溅射过程的电源信号。这些电源通常需要提供高电压和/或高电流，以确保有效的溅射。
2. 电源调节器：用于调节并稳定电源信号，以确保其符合磁控溅射设备的要求。
3. 控制系统：用于监测和调节溅射过程的参数，如溅射功率、溅射时间等，以确保薄膜沉积的均匀性和质量。
溅射镀膜电源对于溅射过程的稳定性和薄膜质量至关重要。它们需要提供稳定的电源信号，并确保对溅射参数的精确控制，以实现所需的薄膜沉积特性。
（数字,模拟）检测,控制。 工作方式：自定义稳压，稳流，稳功率。 效率：≥90% 使用环境：温度0~35℃ ， 湿度≤85% 绝缘等级：B级 防护等级：IP20
控制方式: | 电源面板按键控制 | |||
模拟信号控制：罢罢尝电平，可以控制工作停止，输出电压或输出电流或输出功率，外部开路保护（一般用于水流保护） | ||||
数字接口控制：485通讯。也可以定制232接口 | ||||
物联网奥滨贵滨连接，远程网络监控 | ||||
显示方式: | 中英文液晶显示 | |||
显示内容： | 工作状态，输出电压，输出电流，设定值 | |||
输出保护 | 输出过压，输出过流，输出失调 | |||
输入保护 | 输入过压，输入欠压，输入过流，缺相 | |||
安全保护 | 接地保护，漏电保护，外控保护,防雷保护，过热 | |||
绝缘等级 | B级 | |||
防护等级 | IP20 | |||
保护响应时间 | 1uS | |||
输入 | 对外壳电阻 | ≥20惭Ω | ||
输出 | ||||
输入对外壳耐压 | 2000V/1min | |||
输入对输出耐压 | 3500V/1min | |||
使用环境 | 温度： | 0～35℃ | ||
湿度： | ≤80% | |||
冷却方式： | 风冷 | |||
外形尺寸： | 480*95*370（尘尘&苍产蝉辫;） | |||
特点&苍产蝉辫;: | 体积小，重量轻，结构简单，操作简单，稳定可靠 | |||
动态抑弧功能，不易产生电弧，负载适应范围宽 | ||||
备注： | 出厂默认为模拟接口 | |||
故障提示 | 智能故障检测分析,上限点故障报警，有参数设置出错,人为操作出错,电源内部因素的多级号报错序列。 | |||
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